近日，滨化集团半导体关键材料双突破：6N氟化氢气体打破国际技术垄断，超高纯氢氟酸技术获国际先进评价。
6N级高纯氟化氢规模化量产
7月19日，滨化集团举办电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会，该公司旗下大晟芯材成功实现6N级（99.9999%）高纯氟化氢规模化生产，打破国际垄断，产品关键指标达国际一流水准，这标志着我国在半导体关键材料领域的重大突破。
高纯氟化氢是芯片蚀刻、清洗环节不可或缺的核心原料，被誉为半导体产业的“化学雕刻刀”。6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品，长期以来核心技术被海外企业垄断，国内多数产品普遍停留在5N级（99.999%），微小杂质差距直接制约国产芯片良率提升，是半导体领域典型“卡脖子”材料。西方垄断6N级高纯氟化氢全球约80%的市场份额。目前市场价格已在200万元/吨以上。
滨化集团攻克多重精馏耦合、低析出设备选材、钢瓶洁净防护、微量杂质精准检测四大核心技术，使关键金属离子杂质含量低于1ppb，与国际一流水平接轨。滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍：“别小看这后面多出来的一个‘9’——在芯片制造中，金属杂质含量哪怕只高出几个ppb（十亿分之一），都可能导致芯片良率大幅下降。”
目前，滨化已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，并于7月16日取得山东省特种设备检验研究院颁发的气瓶充装许可证，打通研发、生产、充装、销售全产业化闭环，现阶段已面向行业重点企业开展产品推介。
高纯氟化氢是滨化集团首款落地的电子特气产品，依托本次6N高纯氟化氢量产成果，滨化将持续延伸卤系电子特气产业链条，布局电子级氯化氢、溴化氢等系列产品。公司在建年产1.7万吨的阳信高端电子化学品生产基地已开工建设，预计2026年底完成中交。项目投产后滨化电子化学品总产能将提升至2.3万吨/年，进一步扩充高端产能，缓解国内高端湿电子化学品供给压力。
超高纯电子级氢氟酸关键技术获国际先进评价
同时，由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会在滨化集团举行，以中国科学院院士张锁江、中国化工学会副理事长兼秘书长方向晨等组成的专家组，经全面评审，一致认为该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。
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